我國在半導體設備領域取得重大突破,成功研發出國內首臺全自動晶圓探針臺。這一成果標志著中國在高端半導體測試裝備領域邁出了堅實的一步,為推動集成電路產業自主可控奠定了重要基礎。長春光學精密機械與物理研究所(長春光機所)在這一技術開發過程中發揮了關鍵作用,為設備的成功研發提供了核心技術支持。
全自動晶圓探針臺是半導體制造過程中的關鍵設備之一,主要用于晶圓測試階段,能夠自動完成晶圓的定位、探針接觸及電性能測試等任務。傳統設備依賴進口,不僅成本高昂,還面臨技術封鎖風險。此次國產全自動晶圓探針臺的成功研發,不僅填補了國內空白,還大幅降低了相關產業的生產成本,提升了產業鏈的穩定性。
長春光機所在研發過程中,憑借其在光學精密儀器和自動化控制領域的深厚積累,攻克了多項技術難題,包括高精度運動控制、快速定位算法以及探針與晶圓的精確對接技術。團隊通過優化機械結構與控制系統,實現了設備的高效、穩定運行,確保了測試數據的準確性和可靠性。
這一成果的取得,離不開國家政策的支持以及產學研各方的緊密合作。隨著國產全自動晶圓探針臺的推廣應用,將進一步推動我國半導體產業的自主創新,助力高端制造轉型升級。長春光機所表示,將繼續深耕技術研發,為國產半導體裝備的發展貢獻力量。